超純水監測儀對實驗室純水在線監測都采用同一種基本原理，是純水經過超長波長的紫外光燈會制造氧化有機物，而在有機碳轉化為二氧化碳時會令水的電導率有效提升，而總有機碳的參數就可從電導率的轉變進行丈量。會保證水中總有機碳在實驗要求下TOC含量已經達到域值。因此，不同種類的總有機碳監測在實驗室純水設備中精密而昂貴的，而且體積較大，不易于實驗室純水系統。

　　而其它小型實驗室超純水機對有機碳監測都采用旁路測試。它們在每一段預定時間內把純水從旁路引到紫外光反應盒內，待水中的有機物氧化成二氧化碳。由二氧化碳產生的電阻率差異在反應盒內或另一外置的電阻表丈量。相反，如選用旁路的工業總有機碳監測系統，就不能達到理想的效果。另外，用旁路的總有機碳監測亦需時間將樣本從純水管道引入反應盒以及完成氧化過程后，總有機碳的數值才能顯示到面板上。也就是說，如果純水中的有機物有任何變化。

　　超純水監測儀雜質含量的監測：理想的情況下，監控所有潛在的重要雜質，但不知道潛在的雜質有哪些，因而要定期監測所有這些雜質是不實際的。要控制水中的雜質含量，需要確定被監視指標的特性或需要符合的標準：對不同化合物敏感的，可以非常迅速地被監測的，可以連續被監測的，可以被監測并且具有足夠的靈敏度和準確度的。

　　超純水中有機雜質對實驗的影響很大，因而，總有機碳（TOC）和電阻率一樣，成為水純度的重要指標。TOC是有機污染物整體含量一個很好的指標。就其本身而言，現在還沒有，以后也不會有比TOC更好的指標。有機化合物種類和含量千差萬別，與TOC值的對應關系比較不固定，因此，高準確度的TOC監測意義不大；而連續且不會錯過有機雜顏含量變化的TOC在線監測尤為重要，TOC的變化可能毀掉一次分析實驗。